本實驗室自 1999 年八月成立，主要的研究方向在奈微米生醫光機電系統之設計、製造、積體化、與應用
。系統整合了包含奈微米感測器，奈微米流體裝置，以及奈微米光電元件等。主要的研究方向包含七大目標 : 包含超高靈敏度與通率的單一蛋白質分子奈米陣列之研製，單一 DNA 分子快速定序，少量或單一細胞釋放物之高靈敏快速檢測，高速高靈敏之神經傳導物質動態檢測，無毒性高效能之奈米質點於生醫分子與細胞檢測之應用，微小型積體化之光電系統開發，奈微系統相關積體電路之設計，以及以表面張力為主之奈微米流體物理現象之探討與應用等。本實驗室目前有博士後研究員兩名，專任研究助理 2 名，博士班研究生 20 名，碩士班研究生 20 名，以及大專專題生 9 位，並且已經畢業超過 10 位博士班學生與 100 位以上之碩士班學生。 奈微米生醫光機電暨流體系統實驗室 所使用之研究設施已投注超過八千萬元以上經費建立，包含 奈微系統微影製程實驗室，微奈米化學加工實驗室，奈米薄膜製程實驗室，微系統檢測及封裝實驗室，奈微流體系統與奈米光電量測實驗室，原子力顯微鏡及奈米硬度儀實驗室，以及奈微熱流系統模擬實驗等七個實驗研究環境共約 100 坪 空間所組成。

實驗室負責人 曾繁根教授 於 1998 、 1991 、 1989 年，分別由美國洛杉磯加大 (UCLA) 機械系、台大應力所、清華動機系，取得博士、碩士、以及學士學位。 其博士論文所專注之研究，為一新型之微液珠噴射系統之設計、製造、以及相關之應用。此一技術已移轉國內廠商明基電通，為下一代高速及高解析度噴墨印表機頭之關鍵技術。曾繁根於取得博士學位後，曾於美國資訊科學研究所 (USC/ISI) 一新型之微機電系統製程 -EFAB 研發團隊中，擔任一年資深工程師。爾後於 1999 年八月應清華大學工程與系統科學系之聘，返台任教至今，期間於 2002 年八月升 任副 教授並合聘於微機電系統工程研究所，並於 2006 年八月升 任 教授，並合聘於中央研究院應用科學中心。 曾 博士目前研究領域專注於 奈微米生醫光機電及流體系統 ( Nano/Micro Bio and Fluidic Systems ) , 微機電系統 ( Micro Electro Mechanical Systems ) ，以及與微系統相關之 積體電路設計 、及 微系統封裝 等 。返台至今， 曾 教授已於清華工科系建立總資金超過八千萬元之奈微系統製程、生醫奈微流體檢測、以及原子力顯微檢測等七個實驗室。他目前共有超過 30 篇以上之專利， 125 篇以上之國際期刊論文，超過 170 篇以上之著名國際會議論文，且曾受邀為 MEMS Handbook (CRC press) 撰寫 “ Micro Droplet Generators” 以及為 Protein Microarrays ( Jones and Bartlett Publishers) 撰寫 ”Protein Microarray Technology and The Micro Fluidic Aspects” 篇章。 曾 教授為 2005 年國科會吳大猷先生紀念獎、 2000 國科會甲等研究獎、 2001 清華大學學術專案獎，清華大學 2002 年新進人員研究獎、原科院 2002 年傑出教學獎，以及清華大學 2003 年傑出教學獎得獎人。所發表之論文曾獲得第十五屆全國力學會議大會論文獎 (1991) ，兩次奈米暨微系統技術研討會最佳論文獎 (2003, 2005) ，以及所指導之學生曾獲國家新創獎第二名 (2006), m TAS2004 最佳 poster 獎， 國科會 94 年度大專學生參與專題研究計畫創作獎 ， 25 屆及 26 屆全國力學會議學生論文獎，以及東元科技學生論文獎等獎項。 曾 博士曾於 IEEE Transducer's01 、 IEEE NEMS 05-06, IEEE Nano 07-09, IEEE Nanomed07,IEEE IS 3 M 00 、以及國內外諸多國際及國內會議，擔任會議學術委員 (program committee) 及分項主席 (session chair) 。他目前、或曾為四家美國公司、三家台灣公司、以及工研院多所之顧問，並審理超過 20 種以上之國際期刊。