位置：原子科學館B棟(工科新館)七樓NE704(無塵室)與NE706(空調機房)

分機：03-5715131 #35827

服務：黃光微影製程(HMDS塗佈、光阻塗佈、曝光、顯影，4吋以下晶圓)、光學顯微檢測(可拍照、最高100X物鏡、附量測刻度尺)、金屬/氧化膜之化學溼蝕刻、爐管前化學清潔、陽極接合

使用資格：必須參加實驗室安全講習並通過考核，由管理者安排三次黃光訓練並通過考核，方可獲得使用資格。雙面曝光對準機需另行訓練考核。校內領有薪資之研究人員，須做過健康檢查，並通過校內一般性及有害物安衛教育訓練考核。黃光使用者，有參與本實驗室每週大組打掃的義務，須遵照通知於指定輪值月內每週出席。

 

 

1.        每月每人收費10000元，可自由使用本黃光室提供的一切耗材(含光阻，不含晶圓)，不另行收費，唯不可攜出他用。自開始訓練起前三個月為訓練期，每月收費為5000元。此使用款項將以發票拆帳的方式，定期向使用者之實驗室報銷。

2.        通過訓練考核後，申請門禁卡片必須由申請人自行繳交1000元押金，若違反本實驗室規定將進行扣款(每累計三點，扣除100元；當剩餘額度不足扣款，將直接向使用者罰款)，剩餘金額將於使用者畢業離校時退還。